Browsing by Author "Трапашко, Г. А."

Now showing items 1-2 of 2

    • Калибровка установок измерений размеров элементов микроэлектронных структур 

      Трапашко, Г. А. (БНТУ, 2012)
      Развитие микроэлектроники требует решения проблемы обеспечения единства линейных измерений в субмикронном диапазоне. Этого можно достичь, если проводить калибровку измерительных устройств по эталонным образцам – мерам малой длины. При калибровке измерительного оборудования с помощью эталонной меры важно исследовать составляющие точности метода и их влияние на результат измерений. ...
      2012-08-15

    • Синтез оптоэлектронной системы установки контроля микроэлектронных структур 

      Трапашко, Г. А. (БНТУ, 2014)
      Совершенствование оборудования для контроля размеров и формы микроэлектронных структур на соответствие проектным данным и отсутствие привнесенных в него дефектов и загрязнений требует развития оптоэлектронных систем регистрации изображений структурных элементов. Синтез этих систем можно осуществлять с помощью метода, позволяющего установить обоснованность использования в ней ...
      2014-04-14